5X镜头在晶圆检测中的三大优势

最近一段时间，晶圆检测乃至mini/micro LED晶圆检测应用越来越多，而搭配大面阵相机的高精度检测，对镜头提出了倍率更高、像面更大、分辨率更高等要求；同时，在使用不同颜色的光源来检测不同瑕疵特征时，出于对效率的考虑，大部分情形不希望在z轴进行切换焦面，从而对镜头的轴向色差也有着严苛的要求。

茉丽特最新推出的5X高分辨率远心镜头，在传统高倍远心镜头的基础上，提升了分辨率用以匹配诸如65MP等高像素相机；并做复消色差而将轴向色差控制在景深范围内，实现切换光源而无需对焦。同时，镜头的小尺寸设计可以更好地控制设备的紧凑性。

01--更高的分辨率。MML5-HR80DVI-43M58，光圈开到最大达到F14.7， 比起常规F19，分辨率从2.6μm提高至2μm。

同时，周边和中心视场的成像一致性，一如其他远心稳定。

02--优秀的色差矫正。做了复消色差后，物方的色差控制在了5μm以内（中心波长R 660nm/G 520nm/B 470nm），即使460~660nm范围内，总的色差也控制在了7μm以内。

※光圈全开，另外红光由于波长更长，其极限分辨率相对更低。

03--更紧凑的尺寸。比起动辄550mm~650mm的物像距离，MML5-HR80DVI-43M58将物像距控制在了395mm内，甚至远小于同级的镜头本体长度，在性能维持甚至更高的情况下，却更有效的帮助控制了设备的紧凑性。

搭配6500万，2500万或4500万等高分辨率相机时，通常用于晶圆段的脏污、颗粒、划痕、图案缺陷和电极偏移等等瑕疵检测。

晶圆实测图片▲